Medición de concentración
en la
industria de semiconductores
en la
industria de semiconductores
Monitoreo de concentración para procesos de semiconductores: para una producción eficiente, procesos estables y máxima calidad.
Hasta ±0,02 wt%
Medición en tiempo real
Sin mantenimiento
Económico
Desafíos en la medición de concentración en procesos de semiconductores
En la fabricación de semiconductores, la proporción exacta de concentraciones químicas es crucial, pero los análisis de laboratorio clásicos a menudo proporcionan resultados demasiado tarde. Con LiquiSonic® SensoTech permite un monitoreo confiable en tiempo real que se integra fácilmente en procesos existentes. El sistema proporciona datos de medición precisos sin mantenimiento, aumentando así la seguridad y eficiencia del proceso.
Desafíos
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Concentraciones químicas fuera del rango objetivo
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Análisis de laboratorio que consumen mucho tiempo
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No hay información inmediata y confiable sobre la composición química
Solución: LiquiSonic®
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Monitoreo claro con LiquiSonic®
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Visualización inmediata de la concentración química
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Integración sin problemas en sistemas existentes
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Sin mantenimiento y sin materiales consumibles
Sus ventajas
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Resultados de medición trazables y confiables
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Resultados de medición en tiempo real
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Sensores completamente libres de mantenimiento y materiales resistentes a productos químicos
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Integración sencilla en sistemas de cualquier tamaño y configuración
Nuestra solución: El LiquiSonic® Sistema de medición
Monitorear la concentración en tiempo real
LiquiSonic® kombiniert moderne Ultraschalltechnologie mit temperaturkompensierter Messung, um präzise Ergebnisse bei kritischen Chemikalienmischungen en la Halbleiterfertigung zu liefern. Die Echtzeitüberwachung sorgt für eine stabile Produktqualität, reduziert Abweichungen und stellt Daten für Prozessoptimierungen bereit. Dadurch sinken Betriebskosten und Chemikalienverbrauch, während Prozesssicherheit und Effizienz steigen.
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Asegurar la calidad: El monitoreo en tiempo real garantiza resultados precisos sin desviaciones.
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Reducir costos: Procesos optimizados para máxima fiabilidad y menor consumo.
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Aumentar la eficiencia: Mayor calidad del producto con costos operativos reducidos.
Detalles técnicos y especificaciones
Principio de medición por ultrasonido
La velocidad del sonido en los líquidos está directamente relacionada con la concentración de sustancias disueltas. Las mediciones de tiempo de alta precisión permiten una determinación exacta de la concentración.
Integración de conductividad
En sistemas de tres componentes, la conductividad se utiliza como segundo parámetro físico para determinar ambas concentraciones de manera inequívoca.
Compensación de temperatura
Dos sensores PT1000 integrados en la celda de medición aseguran una compensación automática de temperatura y, por lo tanto, mediciones precisas bajo todas las condiciones. La captura directa de la temperatura del proceso corrige la velocidad del sonido en tiempo real, lo que mejora la estabilidad y precisión incluso con fluctuaciones.
Beneficio económico
La medición de concentración en tiempo real aumenta calidad, eficiencia y fiabilidad, mientras que al mismo tiempo los costos y el consumo de recursos disminuyen:
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Costos operativos reducidos debido a un menor consumo de productos químicos y menos análisis de laboratorio
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Menos desperdicio y retrabajo, ya que las desviaciones pueden detectarse y corregirse de inmediato
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Calidad de producto estable asegura la competitividad y reduce las reclamaciones
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Procesos más eficientes mediante datos en tiempo real en lugar de mediciones de laboratorio con retraso
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Mayor disponibilidad de la planta mediante sensores sin mantenimiento y sin consumibles
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Optimización del proceso mediante datos precisos conduce a una mejora continua y un mejor uso de los recursos
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ROI rápido gracias a ahorros en costos de energía y operativos
Especificaciones técnicas
Precisión de medición | Hasta ±0,02 wt% |
Rango de temperatura | 5 °C a 60 °C |
Rango de presión | Hasta 4 bar |
Material y recubrimiento | PFA |
Transmisión digital | Hasta 1.000 m (más bajo pedido) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, Fieldbus, ... |
Grado de protección | IP65 |
Calibración | Calibración de fábrica única |
Mantenimiento | Completamente libre de mantenimiento |
Ejemplos de aplicación
Típicos pasos del proceso químico y nuestras soluciones utilizadas para soluciones de proceso para procesos de limpieza y grabado, así como procesos especiales de grabado y desarrollo:
SC-1 (APM)
NH4OHHidrógeno2O2
SC-2 (HPM)
HCIHidrógeno2O2
SPM (Piranha)
H2SO4Hidrógeno2O2
Eliminación de óxidos (DHF)
Ácido fluorhídrico
Eliminación de óxidos (BOE/BHF)
Ácido fluorhídrico/NH4F
Grabado de Si₃N₄
H3PO4
Grabado isotrópico de silicio
HFHidrógenoNO3
Grabado anisotrópico de silicio (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Desarrollo de fotolito
TMAH
Ácido nítrico / ácido acético
HNO3/CH3COOH
HF / HCl
HFHidrógenoCl
Historias de éxito y referencias:
Obtenga casos de estudio detallados y referencias de clientes de nuestro equipo de ventas. Contáctenos para ejemplos de aplicación específicos de su industria.
Las principales ventajas de un vistazo
Calidad constante
La monitorización en tiempo real previene desviaciones y asegura una calidad de producto constante.
Ahorros de costos
Menor consumo de productos químicos y costos operativos reducidos gracias a procesos optimizados.
Máxima eficiencia
Los datos en tiempo real permiten decisiones más rápidas y procesos optimizados.
Sin mantenimiento
Los sensores son resistentes a los productos químicos y no requieren consumibles.
Preguntas frecuentes
SensoTech GmbH ist ein führendes Empresa im Bereich der Prozessmesstechnik mit Sitz in Barleben, in der Nähe von Magdeburg, Deutschland. Wir entwickeln und produzieren innovative Lösungen zur Überwachung und Optimierung industrieller Prozesse. Unsere Spezialisierung liegt hierbei in der präzisen Messung von Konzentrationen, Dichten und anderen Parametern in Flüssigkeiten - in Echtzeit und direkt während des Prozesses.
A diferencia de los métodos ópticos, que se ven afectados por el color o la turbidez, los métodos basados en la conductividad, que son sensibles a la conductividad eléctrica, o los métodos basados en la densidad, que pueden verse perturbados por la temperatura o las burbujas de gas, nuestro método ultrasónico es independiente de estas influencias.
El sistema de medición LiquiSonic® tampoco contiene partes móviles ni componentes que puedan desgastarse o consumirse. Por lo tanto, después de la instalación, el sistema de medición es completamente libre de mantenimiento y sin deriva.
Los sensores ofrecen transmisión de señal digital de hasta 1000 m y permiten medición en línea continua sin muestreo.
Unser System nutzt die Ultraschall-Laufzeitmessung zur Bestimmung der Schallgeschwindigkeit in Flüssigkeiten. El se Schallgeschwindigkeit korreliert direkt mit der chemischen Konzentration und ermöglicht precisiones de medición de hasta ±0,02% en peso für die Halbleiterindustrie. La compensación de temperatura integrada garantiza resultados estables incluso en condiciones de proceso fluctuantes.
El sistema proporciona resultados en tiempo real. Se realizan más de 30 mediciones por segundo. Basado en estas mediciones, usted obtiene un valor de medición actual cada segundo. Este tiempo de respuesta rápido permite un control de proceso efectivo y una detección temprana de desviaciones.
Nuestros sensores semiconductores funcionan de manera confiable en un rango de temperatura de 5 °C a 60 °C y presiones de hasta 4 bar.
Sí, mediante la combinación de la medición de la velocidad del sonido con magnitudes físicas adicionales (por ejemplo, conductividad) se pueden varios componentes gleichzeitig bestimmt werden. So lassen sich auch weitere Zusatzstoffe en la Halbleiterfertigung überwachen.
Das Halbleiter-Sistema de medición ist completamente libre de mantenimiento. Es gibt keine mechanischen Verschleißteile, Dichtungen oder optische Fenster, die angegriffen werden könnten. Eine regelmäßige Calibración ist nicht erforderlich - die LiquiSonic® Sensoren bleiben über Jahre stabil.
El sistema ofrece varias interfaces digitales (p. ej., Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus) así como salidas analógicas de 4-20 mA. La Integration erfolgt problemlos a través de protocolos estandarizados.
Da die Schallgélchwindigkeit von der Temperatur beeinflusst wird, sind unsere LiquiSonic® Sensoren mit hochpräzisen Temperatursensoren ausgéltattet. So kann der Einfluss der Temperatur auf die Mélsung compensada directamente werden. Daher ist él nicht nötig, zusätzliche Temperatursensoren in den Halbleiterprozéls einzubinden.
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